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        低溫耦合等離子刻蝕機
        

        
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        ￥300萬-1000萬
        

        
產品規格：低溫刻蝕、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比


        

        
公司所在地：重慶

        

        
產品庫存：現貨及定制

        

        
可供貨地區：全國

        

        
其他說明：

        刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現深硅刻蝕。采用連續的SF6/O2刻蝕工藝，在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁，在光學應用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現刻樣傳片。
        
展開

        刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現深硅刻蝕。采用連續的SF6/O2刻蝕工藝，在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁，在光學應用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現刻樣傳片。收起
        

        

        

        

        


        

        

        

        品牌：
        

        SENTECH
        

        

        

        型號：
        

        SI 500、SI 500C等
        

        

        

        

        

        功能：
        

        刻蝕后形成光滑側壁，在光學應用中非常重要
        

        

        

        用途范圍：
        

        可在-100℃左右低溫下實現深硅刻蝕
        

        

        

        

        

        


        



        

        

        

        


        

        

        重慶眺...
        

        重慶眺望科技有限公司
        

        

        
聯系人：眺望科技


        

        
主營業務：美國AJA磁控濺射，離子刻蝕、電子束蒸發等PVD設備，先進電鍍設備，ICP,PECVD,ALD,RIE等離子體工藝設備等，美國Film Sense多波長橢偏儀，ATL激光器以及徠卡LEICA光學顯微鏡


        
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