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        低溫耦合等離子刻蝕機

        免費樣品檢驗 48小時發貨 工廠直銷
        300萬-1000萬

        產品規格:低溫刻蝕、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比

        公司所在地:重慶

        產品庫存:現貨及定制

        可供貨地區:全國

        其他說明:

        刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現深硅刻蝕。采用連續的SF6/O2刻蝕工藝,在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁,在光學應用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現刻樣傳片。

        展開

        刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現深硅刻蝕。采用連續的SF6/O2刻蝕工藝,在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁,在光學應用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現刻樣傳片。收起

        品牌:
        SENTECH
        型號:
        SI 500、SI 500C等
        功能:
        刻蝕后形成光滑側壁,在光學應用中非常重要
        用途范圍:
        可在-100℃左右低溫下實現深硅刻蝕
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