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12英寸集成電路用特色工藝大硅片產(chǎn)線生產(chǎn)效率提升項目-1臺雙面減薄機(jī)招標(biāo)
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 產(chǎn)能≥ **** | ||||||||||||||
| 硬件配置 | 1 | Load Port 數(shù)量：≥2 Stage，滿足至少兩籃產(chǎn)品加工 | |||||||||||||
| 2 | EFEM機(jī)械手、FFU等關(guān)鍵Parts的品牌與型號，需和中環(huán)廠內(nèi)設(shè)備保持一致 | ||||||||||||||
| 3 | 設(shè)備主操作部需配置操作屏 | ||||||||||||||
| 4 | 供水管路主流量計安裝 | ||||||||||||||
| 5 | 流量、溫度、壓力需要具備相應(yīng)偵測手段 | ||||||||||||||
| 6 | 各參數(shù)需可設(shè)置相應(yīng)warning和alarm limit | ||||||||||||||
| 7 | 水槍：水槍長度或數(shù)量滿足倉體沖洗 | ||||||||||||||
| 8 | 磨削室各門板需安裝安全感應(yīng)器 | ||||||||||||||
| 9 | CDA供氣端需安裝水氣分離裝置 | ||||||||||||||
| 10 | 各Rinse槽需加裝shower噴淋裝置 | ||||||||||||||
| 11 | 設(shè)備管線標(biāo)準(zhǔn)：使用日歐美等國際通用標(biāo)準(zhǔn) | ||||||||||||||
| 12 | 需提供紙質(zhì)和電子版說明書(需含：電路圖及各備件圖紙) | ||||||||||||||
| 13 | 各真空位可設(shè)置alarm limit； | ||||||||||||||
| 14 | 噴淋水角度可調(diào) | ||||||||||||||
| 15 | 驅(qū)動組件無異動異響 | ||||||||||||||
| 工藝標(biāo)準(zhǔn) （驗收標(biāo)準(zhǔn)） | 1 | 片間厚度偏差，目標(biāo)值±1μm（測試50 pcs） | |||||||||||||
| 2 | 雙刀交叉磨削紋路（批量磨削無明顯變化） | ||||||||||||||
| 3 | 累計運行≥72h，無報警，無碎片，無劃傷 | ||||||||||||||
| 4 | TTV≤1μm（測試50 pcs） | ||||||||||||||
| 5 | 拋光后NT map無環(huán)狀異常 | ||||||||||||||
| 6 | 通過廠內(nèi)PCRB機(jī)臺驗收流程 | ||||||||||||||
| 信息需求 | 1 | Communication Status (Offline、Online-Local、Online-Remote) | |||||||||||||
| 2 | Equipment Status （Idle、Run、Down、PM） | ||||||||||||||
| 3 | Port Status （Load Request、Load Complete、Unload Request、Unload Complete、Enable/Disable） | ||||||||||||||
| 4 | Carrier ID Read and | ||||||||||||||
| 5 | Slot Mapping Sensor | ||||||||||||||
| 6 | Recipe Management S7F25、Recipe Edit Event | ||||||||||||||
| 7 | Process Start Event | ||||||||||||||
| 8 | Module In/Out Event (Every wafer or cassette move event in equioment) | ||||||||||||||
| 9 | Process/Measurement Data | ||||||||||||||
| 10 | Process End Event | ||||||||||||||
| 11 | Alarm | ||||||||||||||
| 12 | FDC Data (S6F1、S2F23、S1F3) | ||||||||||||||
| 13 | Terminal Service(S10F1/3) | ||||||||||||||
| 14 | SEMI E84: ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE | ||||||||||||||
| 15 | Provide communication Spec/Manual and SECS Log | ||||||||||||||
| 16 | Tool must write readable SECS Log | ||||||||||||||
| 17 | Install anti-virus software (For example Symantec) | ||||||||||||||
| 以上為設(shè)備通訊基本需求，具體內(nèi)容以SECS/GEM協(xié)議為準(zhǔn) | |||||||||||||||
| 18 | 設(shè)備配置線下運行模式及聯(lián)機(jī)運行模式； | ||||||||||||||
| 19 | 設(shè)備配置本地端工控機(jī)、網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)等信息化硬件; | ||||||||||||||
| 設(shè)備運行 | 1 | Up time＞95% | |||||||||||||
| 2 | MTTR <= 4H，MTBF >= 800H | ||||||||||||||
| 3 | 狀態(tài)燈運行規(guī)則與中環(huán)現(xiàn)場設(shè)備保持一致：綠色-RUN;黃色-Loading:紅色-Alarm; | ||||||||||||||
| 外觀與尺寸 | 1 | 設(shè)備尺寸盡量小，要求設(shè)備預(yù)留維護(hù)空間； | |||||||||||||
| 2 | 外觀油漆顏色與現(xiàn)場保持一致； | ||||||||||||||
| 3 | 設(shè)備外觀整潔無裸露走線，管線標(biāo)識清晰不易擦除； | ||||||||||||||
| 安全 | 1 | 噪聲、震動、物質(zhì)、熱值、輻射、粉塵、放射性、安全防護(hù)、感知預(yù)警、安全連鎖、能源控制、安全標(biāo)識、人體功效設(shè)計等，滿足中國對應(yīng)設(shè)備法律法規(guī)及設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求滿足中國對應(yīng)設(shè)備法律法規(guī)及設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求 | |||||||||||||
| 廠務(wù) | 1 | 提供水電氣需求和接口標(biāo)準(zhǔn)，按中環(huán)廠務(wù)標(biāo)準(zhǔn)對接； | |||||||||||||
| 2 | 設(shè)備的能耗需符合國家和行業(yè)規(guī)定的能效標(biāo)準(zhǔn)、能耗限額、能效標(biāo)識等要求 | ||||||||||||||
| 售后服務(wù) | 1 | 提供售后技術(shù)人員配備情況，設(shè)置專業(yè)的售后服務(wù)團(tuán)隊，提供全面的技術(shù)支持與服務(wù)培訓(xùn)； | |||||||||||||
| 2 | 設(shè)備緊急處理對應(yīng)方式：設(shè)置24H技術(shù)支持，確保隨時報修與咨詢； | ||||||||||||||
| 3 | 建立設(shè)備維護(hù)檔案管理制度，提供常規(guī)異常報警與快速處理方式清單； | ||||||||||||||
| 4 | 提供設(shè)備保修承諾； | ||||||||||||||
| 5 | 提供維保緊急預(yù)案，能源與備件快速對應(yīng)原則； | ||||||||||||||
報名聯(lián)系人：柳明，郵箱：****@tcl.com
報名起止時間****-****
項目名稱：12英寸集成電路用特色工藝大硅片產(chǎn)線生產(chǎn)效率提升項目-1臺雙面減薄機(jī)招標(biāo)；
報名地址：https:****
