南京大學電子束蒸發鍍膜機招標預告（原標題：南京大學電子束蒸發鍍膜機）

A**** 真空應用設備

點擊登錄查看擬采購電子束蒸發鍍膜機一臺，用于實驗室制備包括金、鈦、鉑等常用金屬在內的高質量電極材料。主要采購需求如下：（1）工藝腔配備4000l/s冷泵和1000l/min油泵；（2）工藝腔配備一套真空計，包括前級真空計、全量程真空計、大氣壓傳感器；（3）工藝腔配備1個6坩堝電子槍，坩堝容量15cc，電子槍電源6kW；（4）工藝腔配備1個石英晶振控制器和1個石英晶振探頭，石英晶振監控精度：±0.015A/s，顯示精度：0.01A/s；（5）工藝腔配備6英寸旋轉樣品臺，轉速5～20rpm，樣品臺可水冷，冷卻溫度范圍：5-90℃；（6）工藝腔極限真空優于2x10-7Torr；（7）6英寸鍍膜均勻性優于±3%；（8）質保期不少于一年，提供原廠售后服務。