廈門(mén)大學(xué)大尺寸玻璃片表面處理代加工招標(biāo)預(yù)告(原標(biāo)題: 大尺寸玻璃片表面處理代加工)

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大尺寸玻璃片表面處理代加工 一、具體研究?jī)?nèi)容如下： 1、玻璃蝕刻工藝開(kāi)發(fā)：玻璃片的粗化工藝可以為后續(xù)化學(xué)銅工藝所需的鈀離子提供附著點(diǎn)，同時(shí)為化學(xué)銅層提供足夠的結(jié)合力支撐。本項(xiàng)目需研究玻璃的粗化的工藝流程，不同流程的對(duì)最終效果的影響，研究玻璃表面形成蜂窩狀結(jié)構(gòu)的影響因子，研究和確認(rèn)玻璃粗化工藝的窗口。 2、化學(xué)銅工藝的開(kāi)發(fā)：開(kāi)發(fā)適用于玻璃片化學(xué)銅工藝，研究能實(shí)現(xiàn)低應(yīng)力的化學(xué)銅技術(shù)，保證鍍層結(jié)合力；研究影響化學(xué)銅厚度和還原能力的因素，滿(mǎn)足不同厚度的需求；針對(duì)含有不同尺寸、深寬比的TGV孔結(jié)構(gòu)的玻璃圓片，研究影響化學(xué)銅活性和鍍層覆蓋性的影響因素，避免出現(xiàn)漏鍍、鍍層不連續(xù)的現(xiàn)象。 3、玻璃圓片化學(xué)銅打樣：配方甲方研究進(jìn)度，完成不同玻璃材質(zhì)、不同尺寸不同玻璃厚度的、不同TGV孔型的打樣，避免出現(xiàn)裂片，保證小批量良率，確定工藝裝置方案，支撐甲方玻璃封裝基板關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)。 二、應(yīng)達(dá)到的技術(shù)指標(biāo)和參數(shù) 1、玻璃的粗糙度Ra值在100-300nm范圍，單面的玻璃減薄≤5μm； 2、化學(xué)銅層厚度可以滿(mǎn)足0.1~1.5μm的需要。 3、化學(xué)銅層的結(jié)合力采用百格法測(cè)試，可以滿(mǎn)足5B的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。 4、化學(xué)銅需滿(mǎn)足TGV深徑比在1：1~10：1的需求，鍍層連續(xù)性良好，在顯微鏡觀察TGV切片時(shí)，銅層不能有最大尺寸超過(guò)5μm的片狀或環(huán)狀漏鍍現(xiàn)象。 5、微蝕或化學(xué)銅工藝需滿(mǎn)足100μm~1000μm厚度的玻璃基板的加工能力。 三、研究開(kāi)發(fā)計(jì)劃 1、合同簽訂第1個(gè)月至第3個(gè)月 按照甲方需求，完成不小于3種玻璃材質(zhì)玻璃的粗化工藝開(kāi)發(fā)，確定玻璃粗化工藝流程，研究工藝中每個(gè)步驟對(duì)粗化工藝的影響，完成粗化工藝優(yōu)劣的基本表征。完成不小于3種玻璃材質(zhì)3不同尺寸規(guī)格的玻璃化學(xué)銅工藝的開(kāi)發(fā)與樣品加工，其中至少包括1種TGV孔結(jié)構(gòu)，研究活化鈀的工藝和化學(xué)銅工藝，明確對(duì)化學(xué)銅覆蓋性或連續(xù)性的影響因素，確認(rèn)化學(xué)銅的應(yīng)力對(duì)結(jié)合力的影響，確認(rèn)化學(xué)銅的灌孔能力以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同TGV孔型的孔內(nèi)覆蓋；確認(rèn)和優(yōu)化化學(xué)銅厚度能力，本階段輸出化鍍銅工藝開(kāi)發(fā)試驗(yàn)報(bào)告，至少交付完成化學(xué)鍍銅工藝的玻璃圓片100片。 2、合同簽訂第4個(gè)月至第8個(gè)月 對(duì)玻璃化學(xué)銅工藝進(jìn)行小批量放大測(cè)試，針對(duì)不同尺寸、不同厚度的玻璃采用相應(yīng)的掛具或者工藝裝置方案，避免出現(xiàn)結(jié)合力不良、覆蓋性不足、高比例的裂片等工藝問(wèn)題，解決放大測(cè)試過(guò)程中的技術(shù)問(wèn)題，至少交付完成化學(xué)鍍銅工藝的玻璃圓片150片，至少包括2種TGV結(jié)構(gòu)，輸出玻璃化鍍銅工藝裝置方案設(shè)計(jì)報(bào)告。